Перейти к содержимому

Chemical vapor deposition (CVD).См. Химическое покрытие паром.(Источник. «Металлы и сплавы. Справочник.» Под редакцией Ю.П. Солнцева. НПО “Профессионал”, НПО “Мир и семья”. Санкт-Петербург, 2003 г.).