Перейти к содержимому

(нем. Vorvakuum, от нем. Vor – впереди, перед и лат. Vacuum – пустота) – вакуумный насос, предназнач. Для поддержания давления в выходном сечении высоковакуумного насоса, к-рый только при этом может обеспечивать заданные параметры откачки. В качестве Ф. Н. Могут применяться пластинчато-роторные, золотниковые и др. Вакуумные насосы, к-рые создают вакуум до 0,1 Па.