Фотолитография

(от фото. И литография) – 1) Ф. В полиграфии – фотомеханич. Способ изготовления формы плоской прямой печати на камне, металлич. Пластине, а также оттиск с такой формы. Методы Ф. Применяют и в технологии изготовления миниатюрных электронных устройств на интегр. Микросхемах. 2) Ф. В электронике – способ формирования рельефного изображения в слое металла, диэлектрика или ПП с использованием спец. Материалов, чувствит. К УФ излучению (т. Н. Фоторезистов). Цель Ф. – создать в слое фоторезиста “окна” заданной конфигурации для доступа травителей к расположенной под ним подложке (напр., ПП пластине с оксидной плёнкой). Применяется в электронном приборостроении при изготовлении интегральных схем, запоминающих устройств, прецизионных фотошаблонов и т.