(от англ. Planar – плоский) – высокопроизводит. Метод группового изготовления полупроводниковых приборов и интегральных схем. Осн. Операции П. Т. Нанесение тонкой диэлектрич. Плёнки на поверхность кристаллич. Полупроводника (Si, Ge, GaAs и др.). Удаление способом фотолитографии или электронолитографии определ. Участков этой плёнки. Введение в кристалл через незащищённые плёнкой участки донорных или акцепторных примесей (легирование). В результате этих операций в кристалле образуются области с р – п-переходами.