Перейти к содержимому

Полупроводниковая Интегральная Схема

Интегральная схема, в к-рой все элементы (транзисторы, резисторы, конденсаторы и др.), а также межэлементные соединения выполнены в объёме и на поверхности монокристаллич. ПП пластины (преим. Из кремния) одновременно в одном технологич. Цикле. П. И. С. Изготовляют, как правило, методами планарной технологии с использованием эпитаксии, диффузии, ионного легирования, фотолитографии, нанесения тонких металлич. Плёнок и т. Д., что обеспечивает достаточно высокую плотность их упаковки. Осн. Недостатки П. И. С. – малые номин. Значения параметров пассивных элементов, а также их низкая температурная стабильность.