Вакуумный насос. В к-ром откачка происходит вследствие сорбции газа. Разновидностями С. Н. Являются адсорбционный, геттерный (напр., испарительно-геттерный, геттерно-ионный, магнитный электроразрядный) и криогенный вакуумные насосы.
Вакуумный насос. В к-ром откачка происходит вследствие сорбции газа. Разновидностями С. Н. Являются адсорбционный, геттерный (напр., испарительно-геттерный, геттерно-ионный, магнитный электроразрядный) и криогенный вакуумные насосы.